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共用設備

室温プローバー [HMP-400]

室温プローバー [HMP-400]
装置名称 室温プローバー [HMP-400]
メーカー名 アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株)
型番 B1500A
用途 ・微細加工(電気測定)
仕様 ・サンプルサイズ:最大4 inch Φ
・マニピュレーター:4本
・半導体パラメータアナライザ:IV 4系統, CV 1系統
・試料台加熱機能
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 504号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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