室温プローバー [HMP-400]
![室温プローバー [HMP-400]](data/facility_item/C18_17_室温プローバー.jpg)
| 装置名称 | 室温プローバー [HMP-400] |
|---|---|
| メーカー名 | アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株) |
| 型番 | B1500A |
| 用途 | ・微細加工（電気測定） |
| 仕様 | ・サンプルサイズ：最大4 inch Φ ・マニピュレーター：4本 ・半導体パラメータアナライザ：IV 4系統, CV 1系統 ・試料台加熱機能 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 504号室 |
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