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薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]

薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
装置名称 薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
メーカー名 東朋テクノロジー
型番 FLA-2000-A
用途 ・薄膜応力測定
仕様 ・測定方式:レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー)
・測定範囲:1~4000MPa
・測定再現性:1.3MPa(1σ)
・試料サイズ:φ3インチ, φ6インチ, φ8インチ
・その他:3Dマッピング機能
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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