薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]

装置名称	薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
メーカー名	東朋テクノロジー
型番	FLA-2000-A
用途	・薄膜応力測定
仕様	・測定方式：レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー）・測定範囲：1～4000MPa ・測定再現性：1.3MPa（1σ）・試料サイズ：φ3インチ, φ6インチ, φ8インチ・その他：3Dマッピング機能

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟1F

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構