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電子線プローブマイクロアナライザー装置

電子線プローブマイクロアナライザー装置
装置名称 電子線プローブマイクロアナライザー装置
メーカー名 日本電子(株)
型番 JXA-8900RL
用途 ・金属、半導体等の表面の元素分析
仕様 ・Wフィラメント電子銃
・加速電圧:0.2~40kV
・照射電流:1 pA ~10 μA
・波長分散型X線分光器:5基搭載
・測定可能元素:Be~U
・最大試料サイズ:100 x 100 x 50 mm
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金
  • 大学・公的機関6,000円/時間
  • 中小企業10,000円/時間
  • 大企業20,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:ー
  • 技術指導:ー
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用
問い合わせ先部署 材料分析ステーション
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 122号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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