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共用設備

分光エリプソメーター

分光エリプソメーター
装置名称 分光エリプソメーター
メーカー名 J.A.Woollam
型番 M-2000U
用途 ・微細加工(評価・計測)
仕様 ・波長範囲:250~1000 nm
・補償子:回転式
・入射角:自動制御、45~90°
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)
設置場所 並木地区 MANA棟 505号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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