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共用設備

エリプソメーター [MARY-102FM]

エリプソメーター [MARY-102FM]
装置名称 エリプソメーター [MARY-102FM]
メーカー名 ファイブラボ
型番 MARY-102FM
用途 ・絶縁膜評価
仕様 ・光源:632nm He-Neレーザー
・ビーム径:0.8mm
・入射角:50°,60°,70°
・試料サイズ:最大φ6インチ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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