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共用設備

触針式プロファイラー [Dektak 6M]

触針式プロファイラー [Dektak 6M]
装置名称 触針式プロファイラー [Dektak 6M]
メーカー名 ブルカージャパン(株)
型番 DekTak 6M
用途 ・微細加工(評価・計測)
仕様 ・垂直分解能:0.1 nm
・最大垂直測定幅:262 µm
・測定長さ:50 µm~30 mm
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 502号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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