電子ビーム描画装置 [ELS-F125]

装置名称	電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
メーカー名	(株)エリオニクス
型番	ELS-F125
用途	・微細加工（リソグラフィ）・高速高精細ナノパターニング
仕様	・電子銃　ZrO/W熱電界放射型・最大加速電圧　125kV (25kVステップで可変) ・フィールドつなぎ精度：25nm以下 (500um フィールド) ・重ね合わせ精度：30nm以下 (500um フィールド) ・試料サイズ　最大φ6インチ

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 16,500円/時間中小企業 27,500円/時間大企業 55,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟 102号室

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国立研究開発法人物質・材料研究機構