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電子ビーム描画装置 [ELS-F125]

電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
装置名称 電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
メーカー名 (株)エリオニクス
型番 ELS-F125
用途 ・微細加工(リソグラフィ)
・高速高精細ナノパターニング
仕様 ・電子銃 ZrO/W熱電界放射型
・最大加速電圧 125kV (25kVステップで可変)
・フィールドつなぎ精度:25nm以下 (500um フィールド)
・重ね合わせ精度:30nm以下 (500um フィールド)
・試料サイズ 最大φ6インチ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関15,000円/時間
  • 中小企業25,000円/時間
  • 大企業50,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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