1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. マスクレス露光装置 [DL-1000]

共用設備

マスクレス露光装置 [DL-1000]

マスクレス露光装置 [DL-1000]
装置名称 マスクレス露光装置 [DL-1000]
メーカー名 ナノシステムソリューションズ
型番 DL-1000
用途 ・微細加工(リソグラフィ)
・マスクレスマイクロパターニング
仕様 ・光源 405nm半導体レーザー(h線)
・照度 300mW/cm2
・位置決め精度 ±1um以下
・重ね合わせ精度 ±1um以下
・試料サイズ 最大4インチ角
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 503号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

スマートフォン用ページで見る