マスクアライナー [MA-6]

装置名称	マスクアライナー [MA-6]
メーカー名	ズース・マイクロテック
型番	MA-6
用途	・微細加工（リソグラフィ）
仕様	・光源：i線、h線、g線・マスク寸法：102mm角～152mm角・基板寸法：76mm径以下・露光最小線幅：0.75µm ・位置決め精度：0.5µm(表面側)

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟 502号室

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構