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共用設備

マスクアライナー [MA-6]

マスクアライナー [MA-6]
装置名称 マスクアライナー [MA-6]
メーカー名 ズース・マイクロテック
型番 MA-6
用途 ・微細加工(リソグラフィ)
仕様 ・光源:i線、h線、g線
・マスク寸法:102mm角~152mm角
・基板寸法:76mm径以下
・露光最小線幅:0.75µm
・位置決め精度:0.5µm(表面側)
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 502号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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