スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1]
![スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1]](data/facility_item/1562901939_2.jpg)
| 装置名称 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1] |
|---|---|
| メーカー名 | 芝浦メカトロニクス |
| 型番 | CFS-4EP-LL(4G) |
| 用途 | ・微細加工（成膜） |
| 仕様 | ・電源：DC×2、RF×1 ・基板サイズ：最大6inchφ ・プロセスガス：Ar、O2、N2 ・基板加熱：設定300℃ ・逆スパッタ可 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 504号室 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。