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スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
装置名称 スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
メーカー名 芝浦メカトロニクス
型番 CFS-4EP-LL
用途 ・微細加工(成膜)
仕様 ・電源:DC×2、RF×1
・基板サイズ:最大6inchφ
・プロセスガス:Ar、O2、N2
・基板加熱:設定300℃
・逆スパッタ可
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 504号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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