電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]

装置名称	電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
メーカー名	アールデック
型番	RDEB-1206K
用途	・微細加工（成膜）・リフトオフ向け金属薄膜形成
仕様	・蒸着方式　電子銃型×1式・到達真空度　1.0e-5 Pa ・TS間距離　500mm ・試料サイズ　最大φ6インチ・その他　水冷式試料ステージ

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟 102号室

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構