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電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]

電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
装置名称 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
メーカー名 アールデック
型番 RDEB-1206K
用途 ・微細加工(成膜)
・リフトオフ向け金属薄膜形成
仕様 ・蒸着方式 電子銃型×1式
・到達真空度 1.0e-5 Pa
・TS間距離 500mm
・試料サイズ 最大φ6インチ
・その他 水冷式試料ステージ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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