1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. リフトオフ装置 [KLO-150CBU]

共用設備

リフトオフ装置 [KLO-150CBU]

リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
装置名称 リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
メーカー名 カナメックス
型番 KLO-150CBU
用途 ・微細加工(成膜)
・リフトオフ、レジスト剥離
仕様 ・レジスト膨潤 80℃ NMP溶液
・レジスト剥離 高圧ジェットNMP溶液
・リンス IPA, 純水
・乾燥 スピン乾燥、N2ブロー
・試料サイズ 最大φ6インチ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

スマートフォン用ページで見る