リフトオフ装置 [KLO-150CBU]

装置名称	リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
メーカー名	カナメックス
型番	KLO-150CBU
用途	・微細加工（成膜）・リフトオフ、レジスト剥離
仕様	・レジスト膨潤　80℃ NMP溶液・レジスト剥離　高圧ジェットNMP溶液・リンス　IPA, 純水・乾燥　スピン乾燥、N2ブロー・試料サイズ　最大φ6インチ

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟 102号室

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構