プラズマアッシャー [PB600]
![プラズマアッシャー [PB600]](data/facility_item/1562902352_2.jpg)
装置名称 | プラズマアッシャー [PB600] |
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メーカー名 | ヤマト科学(株) |
型番 | PB-600Z |
用途 | ・微細加工(エッチング) |
仕様 | ・高周波出力:最大600W ・プロセスガス:O2 |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
問い合わせ先部署 | ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション) |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 502号室 |
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