プラズマアッシャー [PB600]
![プラズマアッシャー [PB600]](data/facility_item/1562902352_2.jpg)
| 装置名称 | プラズマアッシャー [PB600] |
|---|---|
| メーカー名 | ヤマト科学(株) |
| 型番 | PB-600Z |
| 用途 | ・微細加工（エッチング） |
| 仕様 | ・高周波出力：最大600W ・プロセスガス：O2 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | ナノテクノロジー融合ステーション （ナノファブリケーション） |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 502号室 |
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