1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. UVオゾンクリーナー [UV-1]

共用設備

UVオゾンクリーナー [UV-1]

UVオゾンクリーナー [UV-1]
装置名称 UVオゾンクリーナー [UV-1]
メーカー名 サムコ
型番 UV-1
用途 ・基板洗浄
・表面改質
仕様 ・光源:紫外線ランプ(184.9nm&253.7nm)
・ステージ温度:室温~300℃
・試料サイズ:最大φ8インチ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

スマートフォン用ページで見る