エキシマクリーナー [EXC-1201]
![エキシマクリーナー [EXC-1201]](data/facility_item/1569924854_5.jpg)
| 装置名称 | エキシマクリーナー [EXC-1201] |
|---|---|
| メーカー名 | マルチプライ |
| 型番 | EXC-1201 |
| 用途 | ・基板洗浄 ・表面改質 |
| 仕様 | ・光源：172nmエキシマ紫外線ランプ ・ステージ温度：室温～200℃ ・試料サイズ：最大φ4インチ |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | ナノテクノロジー融合ステーション （ナノファブリケーション） |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 503号室 |
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