エキシマクリーナー [EXC-1201]
![エキシマクリーナー [EXC-1201]](data/facility_item/1569924854_5.jpg)
装置名称 | エキシマクリーナー [EXC-1201] |
---|---|
メーカー名 | マルチプライ |
型番 | EXC-1201 |
用途 | ・基板洗浄 ・表面改質 |
仕様 | ・光源:172nmエキシマ紫外線ランプ ・ステージ温度:室温~200℃ ・試料サイズ:最大φ4インチ |
利用時間単位 | 時間(1h) |
---|---|
機器利用料金(税抜金額) |
|
利用可能形態 |
|
マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
問い合わせ先部署 | ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション) |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 503号室 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。