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共用設備

ダイシングソー [DAD322]

ダイシングソー [DAD322]
装置名称 ダイシングソー [DAD322]
メーカー名 ディスコ
型番 DAD322
用途 ・微細加工(切削・研磨)
・シリコン/石英/サファイア基板の小片化
仕様 ・切削刃 ダイヤモンドブレード
・切削範囲 XY:162mm以下
・スピンドル回転数 3000-40000rpm
・顕微鏡 モニタ上倍率27倍/270倍電動切替
・試料サイズ 最大φ6インチ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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