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共用設備

ダイシングソー [DAD3220]

ダイシングソー [DAD3220]
装置名称 ダイシングソー [DAD3220]
メーカー名 ディスコ
型番 DAD-3220
用途 ・微細加工(切削・研磨)
仕様 ・ブレード種:Si用及びAl2O3切断用ブレード
・ウェハサイズ:最大φ6インチ
・切断位置決め精度:5μm以内(CCDカメラによる位置指定)
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 506号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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