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ハイブリッドコーター(Q150R ES)

ハイブリッドコーター(Q150R ES)
装置名称 ハイブリッドコーター(Q150R ES)
メーカー名 クォーラムテクノロジーズ
型番 Q150RES
用途 ・絶縁物のSEM/EDS及びEPMA測定
・高純度炭素を絶縁物表面に蒸着可能で、SEM/EDS及びEPMA測定に適している。
仕様 ・炭素成膜:通電加熱方式(4N-CNTワイヤーから)
・Au成膜:マグネトロンスパッタリング方式
・到達圧力:2 Pa以下
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間
  • 中小企業 5,500円/時間
  • 大企業  11,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 表面・バルク分析ユニット
設置場所 千現地区 精密計測実験棟112号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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