ハイブリッドコーター（Q150R ES）
| 装置名称 | ハイブリッドコーター（Q150R ES） |
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| メーカー名 | クォーラムテクノロジーズ |
| 型番 | Q150RES |
| 用途 | ・絶縁物のSEM/EDS及びEPMA測定 ・高純度炭素を絶縁物表面に蒸着可能で、SEM/EDS及びEPMA測定に適している。 |
| 仕様 | ・炭素成膜：通電加熱方式（4N-CNTワイヤーから） ・Au成膜：マグネトロンスパッタリング方式 ・到達圧力：2 Pa以下 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟113号室 |
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