電子銃型蒸着装置 [MB-501010]
装置名称 | 電子銃型蒸着装置 [MB-501010] |
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メーカー名 | エイコーエンジニアリング |
型番 | ー |
用途 | ・微細加工(成膜) |
仕様 | ・蒸発源:材料ハース10個 ・T-S距離:700mm ・基板サイズ:最大φ6インチ |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 |
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