走査型オージェ電子分光分析装置（JAMP-9500F）
| 装置名称 | 走査型オージェ電子分光分析装置（JAMP-9500F） |
|---|---|
| メーカー名 | 日本電子(株) |
| 型番 | JAMP-9500F |
| 用途 | ・金属、半導体等の表面分析 |
| 仕様 | ・ショットキー電界放射電子銃 ・空間分解能：<8 nm ・加速電圧：0.5～30 kV ・照射電流：0.1～100 nA ・測定元素：Li～U ・最大試料サイズ：14 x 14 x 5 mm ・半球型アナライザー搭載 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 111号室 |
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