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走査型オージェ電子分光分析装置

走査型オージェ電子分光分析装置
装置名称 走査型オージェ電子分光分析装置
メーカー名 日本電子(株)
型番 JAMP-9500F
用途 ・金属、半導体等の表面分析
仕様 ・ショットキー電界放射電子銃
・空間分解能:<8 nm
・加速電圧:0.5~30 kV
・照射電流:0.1~100 nA
・測定元素:Li~U
・最大試料サイズ:14 x 14 x 5 mm
・半球型アナライザー搭載
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関6,000円/時間
  • 中小企業10,000円/時間
  • 大企業20,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 材料分析ステーション
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 111号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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