1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]

共用設備

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
装置名称 スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
メーカー名 芝浦メカトロニクス
型番 CFS-4EP-LL
用途 ・微細加工(成膜)
仕様 ・スパッタ方式:DC/RFマグネトロンスパッタ,反応性/2元同時/逆スパッタ/バイアススパッタ可能
・電源出力:最大500W
・カソード:φ3インチ×4式
・プロセスガス:Ar,O2,N2
・試料サイズ:最大φ8インチ(水冷ステージ)
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

スマートフォン用ページで見る