スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
![スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]](data/facility_item/1564374916_5.jpg)
| 装置名称 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] |
|---|---|
| メーカー名 | 芝浦メカトロニクス |
| 型番 | CFS-4EP-LL |
| 用途 | ・微細加工（成膜） |
| 仕様 | ・スパッタ方式：DC/RFマグネトロンスパッタ，反応性／2元同時／逆スパッタ／バイアススパッタ可能 ・電源出力：最大500W ・カソード：φ3インチ×4式 ・プロセスガス：Ar，O2，N2 ・試料サイズ：最大φ8インチ（水冷ステージ） |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟102号室 |
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