TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置
| 装置名称 | TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置 |
|---|---|
| メーカー名 | サーモフィッシャー |
| 型番 | ThermoFisher Scios2 |
| 用途 | FIB-SEM, マイクロサンプリング, EDS,EBSD |
| 仕様 | FIBによるTEM試料作製 金属・セラミクス試料の高速分析・方位マップ取得 |
| 利用時間単位 | 日 |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 先進構造材料研究棟108室 |
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