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共用設備

清浄表面組織観察FIB-SEM装置

清浄表面組織観察FIB-SEM装置
装置名称 清浄表面組織観察FIB-SEM装置
メーカー名 カールツァイス
型番 ZEISS AurigaLaser
用途 SEM:ショットキーエミッタ、加速電圧最大30kV、EDS(60mm2)、EBSD(TSL Digiview)、FIB、Arイオンミリング、レーザーによる大面積加工
仕様 金属・セラミクス試料の分析・方位マップ取得。
多彩な検出器による組織情報の抽出。
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金
  • 大学・公的機関12,000円/時間
  • 中小企業20,000円/時間
  • 大企業40,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用
問い合わせ先部署 構造材料解析ステーション
設置場所 千現地区 先進構造材料研究棟109

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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