ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F）
| 装置名称 | ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F） |
|---|---|
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
| 型番 | JSM7001F |
| 用途 | 表面の形状観察、元素分析、結晶方位及び結晶サイズ評価、格子歪評価解析など |
| 仕様 | ・電界放出形電子銃 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.2 nm （加速電圧30 kV）、3.0 nm （加速電圧1 kV） ・倍率：10～1百万倍 ・最大試料サイズ：φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・EDS付属（JED-2300） エネルギー分解能：133 eV以下 検出可能元素：B～U ・EBSD：TSL OIM DigiView 4.0、 Analysis 8.3 ・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+ |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 112号室 |
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