1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡

共用設備

ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡

ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡
装置名称 ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡
メーカー名 日本電子株式会社
型番 JSM7001F
用途 表面の形状観察、元素分析、結晶方位及び結晶サイズ評価、格子歪評価解析など
仕様 ・電界放出形電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.2 nm (加速電圧30 kV)、3.0 nm (加速電圧1 kV)
・倍率:10~1百万倍
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属(JED-2300)
 エネルギー分解能:133 eV以下
 検出可能元素:B~U
・EBSD:TSL OIM
 DigiView 4.0、 Analysis 8.1
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関6,000円/時間
  • 中小企業10,000円/時間
  • 大企業20,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 材料分析ステーション
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 112号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

スマートフォン用ページで見る