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6連自動蒸着装置

6連自動蒸着装置
装置名称 6連自動蒸着装置
メーカー名 株式会社アールデック
型番 ADS-E86
用途 リフトオフ向け金属薄膜形成
仕様 蒸着方式:電子銃型
ターゲット:Ti, Au, Al, Ni, Pt, 他
到達真空度:10-4Pa台
TS間距離:500mm
試料サイズ:最大φ8インチ
その他:ロードロック式自動蒸着、水冷式資料ステージ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用 微細加工プラットフォーム
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工プラットフォーム)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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