顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]

装置名称	顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
メーカー名	フィルメトリクス株式会社
型番	F54-XY-200-UV
用途	反射分光による薄膜評価
仕様	【遠隔利用可】光源：重水素ハロゲンランプ波長：190-1100nm 測定膜厚範囲：5nm以下～30um 試料サイズ：最大φ8インチその他：自動マッピング、顕微式、遠隔利用可能

利用時間単位	時間（1h）
機器利用料金（税抜金額）	大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間中小企業 5,500円/時間大企業 11,000円/時間
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区材料信頼性実験棟 102号室

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国立研究開発法人 物質・材料研究機構