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顕微式自動膜厚測定システム

顕微式自動膜厚測定システム
装置名称 顕微式自動膜厚測定システム
メーカー名 フィルメトリクス株式会社
型番 F54-XY-200-UV
用途 反射分光による薄膜評価
仕様 光源:重水素ハロゲンランプ
波長:190-1100nm
測定膜厚範囲:5nm以下~30um
試料サイズ:最大φ8インチ
その他:自動マッピング、顕微式、遠隔利用可能
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用 微細加工プラットフォーム
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工プラットフォーム)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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