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水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]

水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]
装置名称 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]
メーカー名 サムコ株式会社
型番 AQ-500
用途 ・金属酸化膜の還元 ・有機汚れの洗浄 ・レジストアッシング ・親水化処理
- Reduction - Surface cleaning - Resist ashing - Hydrophilization
仕様 ・高周波出力:50-250W
・反応ガス:H2O,O2
・自動運転プログラム
・試料サイズ:最大φ8インチ
・水蒸気プラズマによる還元、洗浄、樹脂接合、親水化処理が可能
・酸素ガスを添加することにより、還元雰囲気でのアッシングが可能
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟102室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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