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共用設備

触針式プロファイラ Stylus Profiler

触針式プロファイラ Stylus Profiler
装置名称 触針式プロファイラ Stylus Profiler
メーカー名 ブルカージャパン Bruker
型番 Dektak XT-A
用途 触針による表面形状計測
・段差測定、粗さ測定、3Dマッピング、ストレス測定
・Step measurement, Roughness measurement, 3D mapping, Stress measurement
仕様 ・分解能:1Å(6.5μmレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・試料サイズ:最大φ8インチ
・その他:自動ステージ、3Dマップ・粗さ・ストレス測定
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用 微細加工プラットフォーム
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工プラットフォーム)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟102室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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