走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
![走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]](data/facility_item/1640680804_16.jpg)
| 装置名称 | 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] |
|---|---|
| メーカー名 | オックスフォード・インストゥルメンツ Oxford Instruments |
| 型番 | Jupiter XR |
| 用途 | ・ナノ構造の計測・評価 ・材料の観察・特性評価 ・ナノレベルの粗さ・段差測定 ・Nanostructure measurement ・Observation and characterization for various materials ・Nano-scale topography |
| 仕様 | ・測定モード：形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等 ・走査範囲：90μm ・ステージ可動範囲：200mm角 ・試料サイズ：最大φ8インチ 【特徴】・高速スキャン ・広域アクセス ・多様なイメージングモード ・光熱励振タッピング |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
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