飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）
| 装置名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS） |
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| メーカー名 | アルバック・ファイ(株) |
| 型番 | PHI TRIFT V nanoTOF |
| 用途 | ・固体試料の最表面に存在する成分原子・分子分析 |
| 仕様 | ・Biクラスターイオンビーム ・加速電圧：30 kV ・空間分解能：<100 nm（低質量分析）、<1.0 μm（高質量分析） ・質料分解能：>11,000（低質料分子イオン：SiH+等）、>15,000（高質量分子イオン：＞200 Da） ・ 深さ方向分析用スパッタビーム：Biイオン、Arイオン、またはO2イオンを選択可能 ・ 2D/3D分析可能 ・トリプルフォーカス静電アナライザ搭載 ・トランスファーベッセル ・最大試料サイズ： φ20 x 5 mm（標準ホルダー） |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 123号室 |
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