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飛行時間型二次イオン質量分析装置

飛行時間型二次イオン質量分析装置
装置名称 飛行時間型二次イオン質量分析装置
メーカー名 アルバック・ファイ(株)
型番 PHI TRIFT V nanoTOF
用途 ・固体試料の最表面に存在する成分原子・分子分析
仕様 ・Biクラスターイオンビーム
・加速電圧:30 kV
・空間分解能:<100 nm(低質量分析)、<1.0 μm(高質量分析)
・質料分解能:>11,000(低質料分子イオン:SiH+等)、>15,000(高質量分子イオン:>200 Da)
・ 深さ方向分析用スパッタビーム:Biイオン、Arイオン、またはO2イオンを選択可能
・ 2D/3D分析可能
・トリプルフォーカス静電アナライザ搭載
・トランスファーベッセル
・最大試料サイズ: φ20 x 5 mm(標準ホルダー)
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関9,000円/時間
  • 中小企業15,000円/時間
  • 大企業30,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:ー
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 材料分析ステーション
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 123号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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