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高速高精細電子ビーム描画装置

高速高精細電子ビーム描画装置
装置名称 高速高精細電子ビーム描画装置
メーカー名 株式会社 エリオニクス
型番 ELS-BODEN
用途 微細加工(リソグラフィ)
仕様 加速電圧:100kV
基板サイズ:最大8インチ
フィールドサイズ:1mm
ビーム電流:100pA~10nA
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関9,000円/時間
  • 中小企業15,000円/時間
  • 大企業30,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)
設置場所 並木 503
備考 【特徴】ナノスケールから大面積の描画まで対応可能

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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