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電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]

電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
装置名称 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
メーカー名 株式会社　エリオニクス
型番 ELS-BODEN
用途 微細加工（リソグラフィ）
仕様 加速電圧：100kV
基板サイズ：最大8インチ
フィールドサイズ：1mm
ビーム電流：100pA～10nA
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金（税抜金額）
  • 大学・公的機関・スタートアップ企業 9,900円/時間
  • 中小企業 16,500円/時間
  • 大企業  33,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用：○
  • 技術指導：○
  • 技術代行：○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ○
問い合わせ先部署 微細加工ユニット
設置場所 並木地区 MANA棟
備考 【特徴】ナノスケールから大面積の描画まで対応可能

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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