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マルチガス導入グロー放電質量分析システム

マルチガス導入グロー放電質量分析システム
装置名称 マルチガス導入グロー放電質量分析システム
メーカー名 サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)
型番 VG9000
用途 ・金属・セラミックス試料の高感度分析
・薄膜試料の分析が可能
・相対感度係数による高い精確さを有する分析が可能
仕様 ・質量分析器:Nier-Johnson配置二重収束型
・イオン検出器:ファラデー検出器、イオン計数デイリー検出器
・質量分析範囲:7~240 amu
・プラズマ・イオン種:Ar、He
・液体窒素冷却型試料冷却システム
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関6,000円/時間
  • 中小企業10,000円/時間
  • 大企業20,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:ー
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 材料分析ステーション
設置場所 千現地区 ファインプロセス実験棟 311号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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