マルチコーター(セラミックス試料作製装置群)
装置名称 | マルチコーター(セラミックス試料作製装置群) |
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メーカー名 | 真空デバイス |
型番 | VES-30T |
用途 | ・カーボン蒸着 ・金属スパッタ |
仕様 | ・蒸着 ・イオンスパッタ ・親水処理 |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
設置場所 | 並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟 110号室 |
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