硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS）
| 装置名称 | 硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS） |
|---|---|
| メーカー名 | アルバックファイ |
| 型番 | PHI Quantes |
| 用途 | 各種固体試料（合金・半導体を含む無機化合物・有機物）の表面における ・元素分析 ・定量分析 ・化学状態分析 |
| 仕様 | ・硬X線（Cr Ka線）と軟X線（Al Ka線）の単色化２線源を搭載 ・ガスクラスターイオン銃(GCIB) ・加熱・冷却・電圧印加機構搭載 ・トランスファーベッセル付属 |
| 利用時間単位 | 時(1h) |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
|
| 利用可能形態 |
|
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 ＭＡＮＡ棟403室 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。