走査型硬X線光電子分光分析装置

装置名称 | 走査型硬X線光電子分光分析装置 |
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メーカー名 | アルバックファイ |
型番 | PHI Quantes |
用途 | 各種固体試料(合金・半導体を含む無機化合物・有機物)の表面における ・元素分析 ・定量分析 ・化学状態分析 |
仕様 | ・硬X線(Cr Ka線)と軟X線(Al Ka線)の単色化2線源を搭載 ・ガスクラスターイオン銃(GCIB) ・加熱・冷却・電圧印加機構搭載 ・トランスファーベッセル付属 |
利用時間単位 | 時(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
設置場所 | 並木地区 MANA棟403室 |
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