並木クリーンルーム
| 装置名称 | 並木クリーンルーム |
|---|---|
| メーカー名 | ヤマト科学(株)、ミカサ（株）、オリンパス（株） |
| 型番 | ー |
| 用途 | ・基板ウェット洗浄（有機、酸／アルカリ） ・レジスト塗布（スピンコーティング、ベーク処理） ・レジスト現像処理 ・光学顕微観察 |
| 仕様 | ・スピンコーター（500-8000rpm、プログラム可能） ・ホットプレート（室温～350℃） ・有機/無機ドラフトチャンバー ・金属顕微鏡（対物 x5～x100、明/暗視野、微分干渉像） |
| 利用時間単位 | 30分（0.5h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 502号室（クリーンルーム） |
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