並木クリーンルーム

装置名称 | 並木クリーンルーム |
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メーカー名 | ヤマト科学(株)、ミカサ(株)、オリンパス(株) |
型番 | ー |
用途 | ・基板ウェット洗浄(有機、酸/アルカリ) ・レジスト塗布(スピンコーティング、ベーク処理) ・レジスト現像処理 ・光学顕微観察 |
仕様 | ・スピンコーター(500-8000rpm、プログラム可能) ・ホットプレート(室温~350℃) ・有機/無機ドラフトチャンバー ・金属顕微鏡(対物 x5~x100、明/暗視野、微分干渉像) |
利用時間単位 | 30分(0.5h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 502号室(クリーンルーム) |
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