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共用設備

並木クリーンルーム

並木クリーンルーム
装置名称 並木クリーンルーム
メーカー名 ヤマト科学(株)、ミカサ(株)、オリンパス(株)
型番   ー
用途 ・基板ウェット洗浄(有機、酸/アルカリ)
・レジスト塗布(スピンコーティング、ベーク処理)
・レジスト現像処理
・光学顕微観察
仕様 ・スピンコーター(500-8000rpm、プログラム可能)
・ホットプレート(室温~350℃)
・有機/無機ドラフトチャンバー
・金属顕微鏡(対物 x5~x100、明/暗視野、微分干渉像)
利用時間単位 30分(0.5h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 502号室(クリーンルーム)

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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