電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]
![電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]](data/facility_item/1673333729_16.jpg)
| 装置名称 | 電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS] |
|---|---|
| メーカー名 | 株式会社アルバック |
| 型番 | UEP-3000BS |
| 用途 | ・金属薄膜の堆積 ・多層膜の形成 |
| 仕様 | ・蒸着方式 電子銃型×2式(6連、4連) ・到達真空度 1.0e-5 Pa ・TS間距離 500 - 700mm で可変 ・試料サイズ 最大φ3インチ ・その他 水冷式試料ステージ |
| 利用時間単位 | 時間(1h) |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点棟 504号室 |
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