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電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]

電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]
装置名称 電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]
メーカー名 株式会社アルバック
型番 UEP-3000BS
用途 ・金属薄膜の堆積
・多層膜の形成
仕様 ・蒸着方式 電子銃型×2式(6連、4連)
・到達真空度 1.0e-5 Pa
・TS間距離 500 - 700mm で可変
・試料サイズ 最大φ3インチ
・その他 水冷式試料ステージ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点棟 504号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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