電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
装置名称 | 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] |
---|---|
メーカー名 | 日本電子 |
型番 | JBX-8100FS |
用途 | ・極微細パターニング |
仕様 | ・最高加速電圧:200kV ・クロック周波数:125MHz ・12カセット自動搬送 ・試料サイズ:最大φ8インチ |
利用時間単位 | 時間(1h) |
---|---|
機器利用料金(税抜金額) |
|
利用可能形態 |
|
マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。