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電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]

電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
装置名称 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
メーカー名 日本電子
型番 JBX-8100FS
用途 ・極微細パターニング
仕様 ・最高加速電圧:200kV
・クロック周波数:125MHz
・12カセット自動搬送
・試料サイズ:最大φ8インチ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関15,000円/時間
  • 中小企業25,000円/時間
  • 大企業50,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 微細加工ユニット
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟119室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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