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共用設備

分光エリプソメーター [UNECS-2000A]

分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
装置名称 分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
メーカー名 アルバック
型番 UNECS-2000A
用途 ・微細加工(評価・計測)
仕様 ・光源:ハロゲンランプ
・波長範囲:530~750 nm
・スポット径:1mm
・入射角:70°固定
・試料サイズ:最大φ200mm
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間
  • 中小企業 5,500円/時間
  • 大企業  11,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 微細加工ユニット
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟1F

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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