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共用設備

走査型ヘリウムイオン顕微鏡

走査型ヘリウムイオン顕微鏡
装置名称 走査型ヘリウムイオン顕微鏡
メーカー名 カールツァイス
型番 ORION Plus
用途 ・超高分解能 (0.35nm) 顕微鏡観察
仕様 ・ 原子スケールイオン源
・ 超高分解能: 0.35nm
・ 回折効果の極小化
・ 高元素識別性
・ 低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度の長所
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金
  • 大学・公的機関12,000円/時間
  • 中小企業20,000円/時間
  • 大企業40,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用 微細構造解析プラットフォーム
問い合わせ先部署 微細構造解析プラットフォーム
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 116号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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