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共用設備

3次元測定レーザー顕微鏡

3次元測定レーザー顕微鏡
装置名称 3次元測定レーザー顕微鏡
メーカー名 オリンパス
型番 LEXT OLS4000
用途 ・非接触3次元形状観察、計測
仕様 ・光源 405nm半導体レーザー
・分解能 XY:0.12um/Z:0.01um
・繰り返し性 XY:3σ=0.02um,/Z:1σ=0.012um(対物レンズ100倍時)
・観察モード レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ 100mm角以下
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
ナノプラットフォームでの利用 微細加工プラットフォーム
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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