1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. デュアルビーム加工観察装置

共用設備

デュアルビーム加工観察装置

デュアルビーム加工観察装置
装置名称 デュアルビーム加工観察装置
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 NB5000
用途 ・集束イオンビーム(FIB)加工
・走査型電子顕微鏡観察(SEM)
・TEM試料作製
仕様 ・FIB :Acc.Volt. 1~40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5~30 kV, resolution 1 nm@15kV
利用時間単位 セッション(3.5h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関9,000円/時間
  • 中小企業15,000円/時間
  • 大企業30,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 電子顕微鏡解析ステーション
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 115号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

スマートフォン用ページで見る