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デュアルビーム加工観察装置(NB5000)

デュアルビーム加工観察装置(NB5000)
装置名称 デュアルビーム加工観察装置(NB5000)
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 NB5000
用途 ・集束イオンビーム(FIB)加工
・走査型電子顕微鏡観察(SEM)
・TEM試料作製
仕様 ・FIB :Acc.Volt. 1~40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5~30 kV, resolution 1 nm@15kV
利用時間単位 セッション(3.5h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関・スタートアップ企業 9,900円/時間
  • 中小企業 16,500円/時間
  • 大企業  33,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 電子顕微鏡ユニット
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 129号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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