デュアルビーム加工観察装置（NB5000）
| 装置名称 | デュアルビーム加工観察装置（NB5000） |
|---|---|
| メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| 型番 | NB5000 |
| 用途 | ・集束イオンビーム(FIB)加工 ・走査型電子顕微鏡観察(SEM) ・TEM試料作製 |
| 仕様 | ・FIB :Acc.Volt. 1～40 kV, max.current 50 nA ・SEM :Acc. Volt. 0.5～30 kV, resolution 1 nm@15kV |
| 利用時間単位 | セッション（3.5h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 115号室 |
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