FIB-SEM装置 [XVision200DB]
![FIB-SEM装置 [XVision200DB]](data/facility_item/1569924760_5.jpg)
| 装置名称 | FIB-SEM装置 [XVision200DB] |
|---|---|
| メーカー名 | SII ナノテクノロジー(株) |
| 型番 | XVision200DB |
| 用途 | ・微細加工（エッチング） ・TEM試料作製，イオン照射による直接加工 |
| 仕様 | ・イオン源 Ga液体金属 ・FIB加速電圧 1-30kV ・電子銃 ZrO/W熱電界放射型 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | ナノテクノロジー融合ステーション （ナノファブリケーション） |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 505号室 |
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