FIB-SEM装置 [XVision200DB]
![FIB-SEM装置 [XVision200DB]](data/facility_item/1569924760_5.jpg)
装置名称 | FIB-SEM装置 [XVision200DB] |
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メーカー名 | SII ナノテクノロジー(株) |
型番 | XVision200DB |
用途 | ・微細加工(エッチング) ・TEM試料作製,イオン照射による直接加工 |
仕様 | ・イオン源 Ga液体金属 ・FIB加速電圧 1-30kV ・電子銃 ZrO/W熱電界放射型 |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
問い合わせ先部署 | ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション) |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 505号室 |
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