電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000）
| 装置名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000） |
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| メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| 型番 | SU8000 |
| 用途 | 表面の形状観察及び元素分析 |
| 仕様 | ・冷陰極電界放出形電子銃 ・対物レンズ：セミインレンズ型 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、 2.0 nm（加速電圧1 kV）、 リターディングモード：1.4 nm（照射電圧1 kV） ・リターディングモード 照射電圧：100 V～2.0 kV（加速電圧：500 V～3.0 kV） ・倍率：20～2千倍（低倍率モード）、80～80万倍（高倍率モード） ・最大試料サイズ：φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・透過電子信号（BF、擬似DF）検出 ・EDS付属（Bluker FlatQUAD） エネルギー分解能：129 eV以下 検出可能元素：B～U |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 114号室 |
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