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共用設備

極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡

極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡
装置名称 極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 SU8000
用途 表面の形状観察及び元素分析
仕様 ・冷陰極電界放出形電子銃
・対物レンズ:セミインレンズ型
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV)、 2.0 nm(加速電圧1 kV)、 リターディングモード:1.4 nm(照射電圧1 kV)
・リターディングモード 照射電圧:100 V~2.0 kV(加速電圧:500 V~3.0 kV)
・倍率:20~2千倍(低倍率モード)、80~80万倍(高倍率モード)
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号(BF、擬似DF)検出
・EDS付属(Bluker FlatQUAD)
 エネルギー分解能:129 eV以下
 検出可能元素:B~U
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関6,000円/時間
  • 中小企業10,000円/時間
  • 大企業20,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 材料分析ステーション
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 114号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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