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共用設備

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
装置名称 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 S-5500
用途 表面の形状観察
仕様 ・冷陰極電界放出形電子銃
・インレンズ型対物レンズを搭載し、超高分解能観察が可能
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:0.4 nm(加速電圧30 kV)、 1.6 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:60~1万倍(低倍率モード)、800~2百万倍(高倍率モード)
・最大試料サイズ
 平面:5.0 mm x 9.5 mm x 3.5 mm
 断面:2.0 mm x 6.5 mm x 5.0 mm
・透過電子検出器(BF、DF)搭載
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 材料分析ステーション
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 114号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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