超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
| 装置名称 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 |
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| メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| 型番 | S-5500 |
| 用途 | 表面の形状観察 |
| 仕様 | ・冷陰極電界放出形電子銃 ・インレンズ型対物レンズを搭載し、超高分解能観察が可能 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：0.4 nm（加速電圧30 kV)、 1.6 nm（加速電圧1 kV） ・倍率：60～1万倍（低倍率モード）、800～2百万倍（高倍率モード） ・最大試料サイズ 平面：5.0 mm x 9.5 mm x 3.5 mm 断面：2.0 mm x 6.5 mm x 5.0 mm ・透過電子検出器（BF、DF）搭載 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 114号室 |
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