電界放出形走査電子顕微鏡(S-5500)

装置名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡(S-5500) |
---|---|
メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
型番 | S-5500 |
用途 | 表面の形状観察 |
仕様 | ・冷陰極電界放出形電子銃 ・インレンズ型対物レンズを搭載し、超高分解能観察が可能 ・加速電圧:0.5~30 kV ・二次電子像分解能:0.4 nm(加速電圧30 kV)、 1.6 nm(加速電圧1 kV) ・倍率:60~1万倍(低倍率モード)、800~2百万倍(高倍率モード) ・最大試料サイズ 平面:5.0 mm x 9.5 mm x 3.5 mm 断面:2.0 mm x 6.5 mm x 5.0 mm ・透過電子検出器(BF、DF)搭載 |
利用時間単位 | 時間(1h) |
---|---|
機器利用料金(税抜金額) |
|
利用可能形態 |
|
マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 114号室 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。