電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F）
| 装置名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F） |
|---|---|
| メーカー名 | 日本電子(株) |
| 型番 | JSM-6500F |
| 用途 | 表面の形状観察及び元素分析 |
| 仕様 | ・電界放出形電子銃 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.5 nm（加速電圧15 kV）、 5.0 nm（加速電圧1 kV） ・倍率：10～50万倍 ・最大試料サイズ：φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・EDS付属（JED-2300） エネルギー分解能：133 eV以下 検出可能元素：B～U |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 113号室 |
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