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走査電子顕微鏡(JSM-6510)

走査電子顕微鏡(JSM-6510)
装置名称 走査電子顕微鏡(JSM-6510)
メーカー名 日本電子(株)
型番 JSM-6510
用途 表面の形状観察
仕様 ・Wフィラメント電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子分解能:3.0 nm(加速電圧30 kV)、 8.0 nm (加速電圧3 kV)、 15.0 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:5~30万倍
・最大試料サイズ:φ150 mm
・操作ナビ画面にナビゲーション表示
・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間
  • 中小企業 5,500円/時間
  • 大企業  11,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 表面・バルク分析ユニット
設置場所 千現地区 精密計測実験棟 112号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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