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共用設備

FE-SEM [S-4800]

FE-SEM [S-4800]
装置名称 FE-SEM [S-4800]
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 S-4800
用途 ・微細加工(評価・計測)
・ナノ加工・構造・材料の観察・計測
仕様 ・電子銃 ZrO/W 電界放射型
・加速電圧 0.1-30kV
・2次電子像分解能 1.0nm (ノーマル:15kV) 1.4nm (リターディング:1.0kV)
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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