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共用設備

FE-SEM+EDX [SU8230]

FE-SEM+EDX [SU8230]
装置名称 FE-SEM+EDX [SU8230]
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 SU8230
用途 ・微細加工(評価・計測)
仕様 ・冷陰極電界放出電子銃
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能:EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関6,000円/時間
  • 中小企業10,000円/時間
  • 大企業20,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 506号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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