FE-SEM+EDX [S-4800]
![FE-SEM+EDX [S-4800]](data/facility_item/1562898213_2.jpg)
| 装置名称 | FE-SEM+EDX [S-4800] |
|---|---|
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 |
| 型番 | S4800 / X-MAX 80 |
| 用途 | ・微細構造の観察および分析 |
| 仕様 | ・加速電圧:0.5～30kV , ・最大倍率:800k , ・検出器:SE/BSE |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 |
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